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  • 產品名稱:ALPAO變形鏡

  • 產品型號:ALPAO
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
ALPAO公司MEMS變形鏡結構緊湊、相較於波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調製量大低磁滯性<1%,高線性度>97%。相比於MEMS靜電變形鏡來說,電磁驅動變形鏡相較於壓電變形鏡的優點在於其巨大的變形量,更高的調製精度。
詳情介紹:

變形鏡,又稱變形反射鏡(DM),主要運用於各種自適應光學係統之中,主要用於校正波前畸變,它由很多驅動單元組合而成,每個驅動單元都有自己獨立的控製器,在外加電壓控製下,變形鏡的鏡麵可以產生需要的形變量,從而對波前像差進行調製。變形鏡是自適應光學係統中的重要部件之一。
    ALPAO是從法國JosephFourier大學獨立出來的公司,主要開發電磁場驅動的MEMS驅動器,*高到820 個驅動器,行程達80µm,表麵質量<7nmRMS,采用目前世界上*先進的拋光工藝,表麵粗糙度<1nm,變形鏡的響應時間隻有500us,帶寬可以達到2KHz。

 ALPAO高速變形鏡,可變形反射鏡,可變形鏡,deformable mirror

ALPAO公司可變形鏡

ALPAO公司MEMS變形鏡結構緊湊、相較於波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調製量大低磁滯性<1%,高線性度>97%。相比於MEMS靜電變形鏡來說,電磁驅動變形鏡相較於壓電變形鏡的優點在於其巨大的變形量,更高的調製精度。

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主要特點:

 

  • 調製量大:波前相位調製幅度超過80μm                   

  • 穩定度高:+/-1% over 30s,<10nm RMS over hours

·         高動態範圍 :響應時間小於500μs                        

·         鍍膜質量高: R>97% @500nm- 2.0µm

  • 表麵平整:表麵粗糙度 <15Å RMS

  • 亞納米步長精度

  • 低磁滯:磁滯誤差小於1%              

  • 單通道相位調製幅度>5.0 µm PTV

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